FFU ULPA / HEPA FILTER
팬 필터 유닛에 들어가는 저압손실형 엘리먼트입니다. 0.1㎛ 기준 99.99995% ULPA 등급과 0.3㎛ 99.97% HEPA 등급 중에서 고르며, 0.35m/s에서 초기 압력손실이 9.5mmAq 이하라 팬 부하가 적습니다. Class 1~10 클린룸 천장 유닛에 그대로 들어갑니다.
효율 99.99995% @0.1㎛ / 99.97% @0.3㎛
쓰이는 곳
- FFU (팬 필터 유닛)
- 클린룸 (Class 1~10)
- 반도체·디스플레이
구성 재질
- 매체
- 글라스 파이버
- 개스킷
- 네오프렌 스펀지
- 프레임
- 알루미늄
- 밀봉제
- 폴리우레탄
- 분리재
- 알루미늄, 크라프트지, 핫멜트
규격표
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| 형식 | 규격 H×W×D(mm) | 효율 | 풍량(CMM) | 초기 압력손실(mmAq) | 말기 압력손실(mmAq) |
|---|---|---|---|---|---|
| BO-FU515 | 572×1172×50 | 99.99995%↑ (0.1㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| BO-FU517 | 572×1172×75 | 99.99995%↑ (0.1㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| BO-FU5112 | 572×1172×120 | 99.99995%↑ (0.1㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| BO-FH515 | 572×1172×50 | 99.97%↑ (0.3㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| BO-FH517 | 572×1172×75 | 99.97%↑ (0.3㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
| BO-FH5112 | 572×1172×120 | 99.97%↑ (0.3㎛) | 15 | 9.5 | 19 |
규격품 외 주문 제작 가능.
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